視頻測(cè)量顯微鏡和比較儀是傳統(tǒng)的測(cè)量?jī)x器，而光學(xué)測(cè)量?jī)x作為他們的升級(jí)版功能更加強(qiáng)大，因?yàn)樗鼈兡軌颢@得快速和準(zhǔn)確的非接觸測(cè)量。在現(xiàn)代制造業(yè)中的應(yīng)用很普遍。在選擇測(cè)量系統(tǒng)時(shí)，有很多因素要考慮，包括是否購(gòu)買一個(gè)傳統(tǒng)的視頻測(cè)量顯微鏡，比較儀，或光學(xué)測(cè)量?jī)x或是否需要一個(gè)能提供大視野的系統(tǒng)。本技術(shù)報(bào)告將解釋選擇系統(tǒng)時(shí)需要考慮的特定光學(xué)特性。影響測(cè)量性能的因素和光學(xué)特性很多。以下是在選擇測(cè)量系統(tǒng)之前應(yīng)該考慮的幾個(gè)因素。
•視場(chǎng)(FOV)大小是一個(gè)功能，包括光學(xué)(放大)，傳感器大小(視頻)和屏幕大小(比較儀)。雖然FOV大小在很大程度上是一個(gè)方便的問題，但它也對(duì)測(cè)量效率有很大的影響。單次FOV可以測(cè)量全部特征時(shí)，測(cè)量時(shí)間比需要多段移動(dòng)時(shí)要短得多。
•聚焦深度(DOF)影響測(cè)量不同高度表面時(shí)重新聚焦的需要，以及高精度聚焦的能力。對(duì)于一般測(cè)量來說，較大的景深是很方便的。對(duì)于頻繁的z軸測(cè)量，最好有一個(gè)淺景深。因此，DOF是另一個(gè)優(yōu)化的機(jī)會(huì)。
•遠(yuǎn)心性是一種光學(xué)特性，它允許物體保持恒定的大小和形狀，無論它與鏡頭的距離如何。如果圖像在大聚焦深度內(nèi)是恒定的，系統(tǒng)就不需要重新定位光學(xué)來測(cè)量不同平面的特征。
•失真是一種光學(xué)特性，它允許物體在整個(gè)視場(chǎng)中被精確放大，保持其大小和形狀。
這種特性消除了將感興趣的特征移到視場(chǎng)中心進(jìn)行精確測(cè)量的需要。低失真高精度的光學(xué)系統(tǒng)允許精確的測(cè)量整個(gè)領(lǐng)域的視野特征。
